旋片式真空泵的旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成了A、B、C三個部分，當轉子按照箭頭的方向旋轉的時候，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處于吸氣的過程中。而與排氣口相通的空間C的容積則是逐漸縮小的，正處于排氣的過程中。居中的空間B的容積也是在逐漸減小的，正處于壓縮的過程。
因為空間A的容積是逐漸增大（也就是膨脹），氣體的壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內的壓強，所以將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕的時候，也就是轉到了空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積也逐漸縮小，之后與排氣口相通。
當被壓縮氣體超過排氣壓強的時候，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內的油層排到大氣之中。因為泵的連續運轉，達到了連續抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉入了另一級（低真空級），由低真空級抽走，再經過低真空級壓縮后排到大氣之中，也就組成了雙級泵。這個時候總的壓縮比是由兩級來負擔的，因而提高了極限的真空度。
引起旋片式真空泵真空度低的原因有很多中，下面我們就來簡單的介紹一下其中的幾種主要情況：
1、這一次操作時加的旋片式真空泵油的牌號和原先的不一樣。因為不同牌號油內的飽和蒸汽壓是不一樣的，所以其產生的結果也是不一樣的。解決的方法就是：根據產品的型號規格更換正確的新真空泵油。
2、這個也是因為真空泵油造成的真空度低的情況，是因為真空泵油乳化變色，或者過臟了。解決的方法就是：放干凈泵內的所有的真空泵油，更換同等類型的真空泵油，并讓被抽氣體中水蒸氣和雜質不進入到泵內。
3、被抽氣體的溫度可能會過高。解決的方法：降低被抽氣體的溫度，或可以加一個相應的換熱器。
4、泵內的油路不通或者不暢，泵腔內沒有保持一定量的油量。解決的方法就是檢查油路是否是暢通的，并加同等類型的真空泵油。
5、配合的間隙改大。這是長期被抽氣體內含有粉塵等的原因，造成旋片和定子之間磨損后的間隙增大問題。解決的方法就是檢查間隙是否過大，更換新的零部件。
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